Príomhról na ceardlainne íonaithe
Is é príomhfheidhm na ceardlainne íonú ná glaineacht agus teocht agus taise na dtáirgí a ndéanann na táirgí a ndéantar teagmháil leo a rialú, mar shampla sliseanna sileacain, ionas gur féidir na táirgí a tháirgeadh agus a mhonarú i spás maith comhshaoil. Tugtar ceardlann íonaithe ar an spás seo. De réir an chleachtais idirnáisiúnta, tá an leibhéal íonú saor ó dheannach bunaithe go príomha ar líon na gcáithníní san aer in aghaidh an mhéadair chiúbaigh aeir a bhfuil trastomhas na gcáithníní níos mó ná an caighdeán deighilte. Is é sin le rá, níl 100% gan deannach beag ach gan deannach beag, ach tá sé á rialú in aonad an-bheag. Ar ndóigh, tá na cáithníní a chomhlíonann deannaigh sa chaighdeán seo an-bheag cheana féin i gcomparáid lenár ndeannach coitianta, ach i gcás tógála optúla, is féidir le beagán deannaigh fiú tionchar diúltach an-mhór a bheith acu, mar sin i dtáirgeadh táirgí foirgníochta optúla. Is riachtanas dosheachanta é an seomra glan.



Sa cheardlann íonaithe, déantar rialú ar an líon dusta mín a bhfuil méid na gcáithníní acu ar lú é ná 0.3 micriméadar in aghaidh an mhéadair chiúbaigh níos lú ná 3,500, agus baintear amach leibhéal A den chaighdeán idirnáisiúnta saor ó dheannach. Faoi láthair, tá riachtanais níos airde le haghaidh deannaigh ná an rang A ag an gcaighdeán saor ó dheannach a chuirtear i bhfeidhm i dtáirgeadh agus i bpróiseáil an tslis íonachta. Cuirtear an caighdeán ard sin i bhfeidhm go príomha ar roinnt sliseanna ardleibhéil a tháirgeadh. Déantar méid na móta de 5μm agus thíos a rialú go docht laistigh de 1000 méadar in aghaidh an mhéadair chiúbaigh, ar a dtugtar an leibhéal 1K sa tionscal freisin.

