Seomra glan agus anailís statach
1. Seomra glan agus leictreachas statach
(1) Seomra glan
Teastaíonn ceardlanna táirgeachta glana ó leathsheoltóirí, taispeántais criostail leachtacha painéal comhréidh, optoelectronics, agus bithleighis. De ghnáth, tagraíonn seomraí glana do sheomraí nó do spásanna srianta ina ndéantar tiúchan na gcáithníní aeir ar fionraí sa spás a rialú laistigh de theorainneacha sonraithe. Is lú an líon teoranta cáithníní, is airde an glaineacht.
(2) Leictreachas statach sa seomra glan
Mar gheall ar riachtanais ghlaineachta an tseomra ghlain, úsáid faoi dhíon
① Líon mór ábhar maisiúil le meán inslithe ard, urláir, ballaí, doirse, uasteorainneacha, deighiltí, binsí oibre, cathaoireacha, srl., Is furasta na hábhair seo a leictriú agus a mhuirearú trí fhrithchuimilt, agus ní furasta iad a sceitheadh agus a scaoileadh saor.
Urlár plaisteach 500V ~ 1000V sa seomra grianghrafadóireachta, 500V ~ 1500V sa seomra idirleata, 500V ~ 1500V in urlár tíl, 700V do pháipéar balla plaisteach, OV ~ 1000V don uasteorainn phlaisteach, 500V ~ 3000V do dhromchla cathaoir leathair shochorraithe miotail.
② Nuair a chaitheann daoine rabhlaeir ghlan, bróga, siúl nó obair, ginfidh frithchuimilt le hábhair, trealamh agus trealamh éagsúil leictreachas statach, agus gearrfar daoine, éadaí agus bróga orthu. Caitheann daoine éadaí níolón agus bróga plaisteacha rubair-soled ag siúl go mall ar an urlár glan, le voltas statach 7000V ~ 8000V ar a gcorp. Is féidir 1200V (10% ~ 20% RH), 250V (65% ~ 90% RH) a úsáid chun siúl ar urlár vinile, is féidir 35000V (10% ~ 20% RH), 1500V (65% ~ 90) a úsáid le haghaidh siúl ar chairpéad% RH), an líne cóimeála sliseanna, is féidir leis na héadaí oibre a chaitheann daoine 10KV a bhaint amach.
Passes Gabhann sreabhadh aer an oiriúntóra aer tríd an scagaire príomhéifeachta, an scagaire meánéifeacht, agus an scagaire ardéifeachtúlachta, agus gearrtar leictreastatach ar an sreabhadh aer asraon íonaithe.
Is é 500 ~ 1000V asraonta aerphláta alúmanaim agus asraonta aer fillte.
Are Is foinsí tábhachtacha luchtaithe leictreastatacha iad líon mór trealaimh, trealaimh agus uirlisí inslithe freisin. Líne táirgeachta cóimeála wafer: bosca luchtaithe wafer 35KV, clúdach plexiglass 8KV, táirge grianchloch 1.5KV, tráidire wafer 6KV, clúdach aicrileach 20KV, barr tábla 10KV, comh-aireachta stórála plaisteach 30KV, sleamhnáin bosca luchtaithe criostail snáithín gloine thar bharr an tábla polapróipiléine Le 10KV.
I mbeagán focal: dá airde na riachtanais glaineachta sa seomra glan, is amhlaidh is tromchúisí an muirearú leictreastatach.
2 Na guaiseacha a bhaineann le leictreachas statach i seomraí glana
(1) Fórsa leictreastatach Coulomb
Déantar deannach agus salachar a shú isteach agus a thabhairt chuig neamhfheistí, rud a mhéadóidh sceitheadh nó a fhágfaidh ciorcaid ghearra, a dhéanfaidh dochar don fheidhmíocht agus a laghdóidh an toradh agus an iontaofacht go mór. Má tá méid na gcáithníní deannaigh> 100μm, tá leithead na sreinge alúmanaim thart ar 100μm, agus tá tiús an scannáin ocsaíd 50μm, is furasta an táirge a scriosadh. Anois tá trastomhas na sreinge níos tanaí agus tá an scannán ocsaíd an-tanaí. Déanfaidh na cáithníní beaga deannaigh de mhéid na gcáithníní damáiste do na comhpháirteanna. Tarlaíonn an cás seo den chuid is mó sa phróiseas glantacháin chreimthe, fótografaíocht, spot-tháthú agus pacáistiú.
(2) ESD urscaoileadh leictreastatach
Is Déantar scannán ocsaíd inslithe na comhpháirte a mhiondealú, déantar an sreang luaidhe a dhó nó leádh an sreang go gairid. Má tá muirear statach 10KV (100PF) ag an gcorp an duine, tarlóidh ESD nuair a bheidh cosa na feiste i dteagmháil léi, agus cruthóidh sé buaic reatha urscaoilte bíge láithreach ar an talamh suas go 20A (10 ~ 100s), gan trácht ar an dlús ard, trastomhas sreinge tanaí, agus scannán tanaí Sio2. Déanfaidh Lsi, Vlsi, is é sin, IC ginearálta, MOS damáiste.
Go ginearálta, is é E=(5-10) × 106V / cm neart réimse voltais an scannáin geata inslithe Sio2. Más é 1000 tiús scannán Sio2 na feiste, buailfear bioráin ionchuir na feiste trí voltas statach os cionn 50V-100V a chur i bhfeidhm. Caith é, agus tá sé an-choitianta do dhaoine leictreachas statach níos mó ná 50V nó 100V a iompar.
② Cúis le torann agus cur isteach tonn leictreamaighnéadach
Is é ESD is cúis le IEA. Tá beanna tosaigh agus cúil na toinne leictreamaighnéadaí géar, tá an comhartha láidir, agus tá an fuinneamh comhionann le cúpla volta sa chiorcad. Trasnaíonn an minicíocht cúpla MH2 nó fiú na céadta MH2. D’fhéadfadh torann láidir damáiste a dhéanamh do chomhpháirteanna, do threalamh agus do bhraiteoirí atá mífheidhmiúil, nó fiú a bheith ina chúis leis an bhfeiste a reo.
Féadann IEA de bharr ESD ionchur comhartha mícheart nó latch-up a chur faoi deara. Má chuirtear bosca EMIF an sliseog ar thralaí cruach i seomra glan, tarchuirfear ESD an taosráin chuig an tralaí trí ionduchtú, agus inslítear na rothaí, agus cuirfidh idirleathadh IEA faoi deara go dtitfidh an próiseálaí wafer .
Turraing Turraing leictreach do chorp an duine
Nuair a sháraíonn ESD daonna nó ESD do dhaoine an teorainn turraing leictreach i gcorp an duine atá níos mó ná 5mA, beidh mothúcháin éagsúla díobhála ag daoine, rud a fhágfaidh go mbeidh an fhoireann míshuaimhneach agus go n-oibreoidh siad go mícheart.
Cé go bhfuil go leor oibre déanta i seomraí glana mar leathsheoltóirí, taispeántais painéal comhréidh, agus optoelectronics, bíonn tionchar fós ag na fadhbanna leictreachais statacha i seomraí glana ar shábháilteacht táirgeachta agus ar aschur táirge, bíonn tionchar acu ar chostais agus ar shochair déantúsaíochta, agus bíonn tionchar acu ar cháilíocht agus iontaofacht an táirge. . Tuairiscítear go measann saineolaithe tionsclaíocha eachtracha gurb é 8-33% meánchaillteanas táirgí de bharr leictreachais statach sna Stáit Aontaithe. Féach Tábla 3 don tuarascáil ar chaillteanas statach.
Measann daoine áirithe gurb é luach damáiste leictreachais statach don tionscal leictreonaice sna Stáit Aontaithe ná 10 mbilliún dollar SAM gach bliain. Rinne an tSeapáin anailís ar tháirgí leictreonacha scriosta sna 1980idí, agus b'ionann na caillteanais de bharr ESD agus 1/3. Thosaigh leathsheoltóirí mo thíre' s, taispeántais criostail leachtacha comhréidh, agus optoelectronics go déanach, ach tharla guaiseacha leictreastatacha freisin, agus tá an ráta toraidh íseal. Mar shampla, i gcuideachta i mBéising, tá an cheardlann SMT 4 mhí sa gheimhreadh, agus is minic a bhíonn caillteanais de bharr ESD ag na milliúin dollar. Rinne pearsanra ESD gearán leis na mílte ríomhaire oifige i bhfiontar maoinithe eachtrach i Shanghai, agus ní raibh na ríomhairí ag obair i gceart. Tá ESD tromchúiseach i seomra ríomhaireachta institiúide taighde agus dearaidh le níos mó ná 200 méadar cearnach agus ní féidir leis oibriú de ghnáth. Bhí cáilíocht táirge éagobhsaí ag cuideachta a infheistíodh go coigríche i Wuxi mar gheall ar ESD. Agus bainc, cuideachtaí urrús, bunachair sonraí rúnda, ionaid monatóireachta, seomraí seolta cumhachta, agus mar sin de. Má tharlaíonn ESD, is furasta cur isteach a chur faoi deara, agus déanann an caillteanas sonraí níos measa fós.
3 Rialú statach seomra glan
(1) Prionsabail bhunúsacha an rialaithe statach
① Faigh an leibhéal rialaithe statach
Generation Giniúint an mhuirir statach a íoslaghdú
Speed Luathaíonn an modh aerála agus neodraithe diomailt an mhuirir statach agus cuireann sé cosc ar leictreachas statach carnadh
④ An táirge a chosaint ar dhamáiste ESD
(2) Faigh leibhéal an rialaithe statach
① Aicmiú so-ghabhálacht leictreastatach comhpháirteanna, comhpháirteanna agus trealaimh
Leibhéal 1: damáiste go héasca ag voltas leictreastatach 0-1999V
Leibhéal 2: damáiste éasca ag voltas leictreastatach 2000-3999V
Leibhéal 3: damáiste éasca ag voltas leictreastatach 4000-5999V
Má tá an voltas statach íogair níos mó ná 16000V, ní gá bearta frithstatacha a dhéanamh.
② Aicmiú limistéar oibre cosanta leictreastatach
Aicme A: Lig don acmhainn leictreastatach ar an talamh a bheith níos mó ná ± 100V
Aicme B: Lig don acmhainn leictreastatach ar an talamh a bheith níos mó ná ± 1000V
Sa tionscadal iarbhír, ní sháraíonn an acmhainneacht leictreastatach 3 leibhéal de voltas íogair leictreastatach na gcomhpháirteanna, na gcomhpháirteanna agus an trealaimh chomhfhreagraigh amhail 100V, 500V, agus 1000V.
(3) Giniúint muirear statach a íoslaghdú a oiread agus is féidir
Is é seo an chéad chéim sa triológ de rialú statach. Sa timpeallacht ghlan oibre seo, is iad na bearta is fearr:
Equipment Úsáid trealamh a bhfuil airíonna comhchosúla aige a oiread agus is féidir chun an muirear leictreastatach a ghintear le linn an phróisis deighilte frithchuimilte teagmhála a laghdú;
② Déan iarracht ábhair statacha seoltacha nó statacha dissipative a úsáid chun carnadh na muirear statach a laghdú le linn an phróisis frithchuimilte teagmhála agus deighilte;
③ Déan iarracht próiseas táirgthe a úsáid a laghdaíonn an muirear leictreastatach a ghineann scaradh frithchuimilte teagmhála.
(4) Faoiseamh agus neodrú
Is é seo an chéad chéim sa phróiseas trí chéim chun leictreachas statach a rialú. Is iad na gnáthbhearta sa seomra glan de tháirgeadh micreictreonaic ná bunús, ag úsáid ábhair seoltaí nó easaontacha chun muirir statacha a urscaoileadh, agus diomailtitheoirí ianaithe chun muirir statacha a neodrú.
① Talamh
Ba chóir go mbeadh an seomra glan feistithe le córas neamhspleách leictreastatach ar an talamh, lena n-áirítear córas tacaíochta mogalra miotail ar an talamh, córas tacaíochta bunaithe ar stáisiún oibre (tacar) líne táirgeachta. D’fhonn an muirear statach ar an talamh a urscaoileadh go sábháilte agus go héifeachtach trí chásáil miotail an trealaimh go léir sa seomra, lúibín miotail an trealaimh soghluaiste, agus an trealaimh frithstatach. Déantar an talamh a shailleadh go talamh. Tá talamh crua, ballaí, uasteorainneacha, deighiltí, srl. Faoi thalamh crua, agus tá sliogáin trealaimh, trealamh soghluaiste (gluaisteáin, cathaoireacha, seilfeanna, srl.), Binsí oibre, srl.
Xia Xiao Electric ianaithe
Ní féidir comhpháirteanna, PCBanna, línte táirgeachta, agus stáisiúin oibre a tháirgtear agus a chuirtear le chéile i seomraí glana a sheachaint i gcónaí go bhfuil roinnt seoltóirí inslithe ann nach féidir a chur ar an talamh, agus ábhair tréleictreach inslithe (cosúil leis an gcuid is mó de ghnáthphlaistigh). I roinnt timpeallachtaí, úsáidtear díothaithe ianaithe go coitianta. Déan an muirear statach ar na rudaí seo a dhíscaoileadh go háitiúil, agus níos minice trí ianú aer chun an muirear statach ar an meán inslithe agus an seoltóir iargúlta a neodrú.
Electric Leictreachas statach agus ábhair statacha dissipative
Is ábhair urscaoilte muirir statacha an-mhaith iad ábhair seoltaí leictreachais statacha agus ábhair dhíscaoilte statacha mar gheall ar a seoltacht leictreachais statach, agus tá siad níos sábháilte ná doirteadh seoltóra miotail. Úsáidtear iad de ghnáth mar urláir, ballaí, binsí oibre agus coimeádáin láimhdeachais. , Tweezers, scuaba agus trealamh frithstatach eile.
(5) Frith-ESD, táirgí a chosaint
Is é seo an chéim dheireanach sna trí chéim chun leictreachas statach a rialú. Sa seomra glan de tháirgeadh micreictreonaic, d’fhonn cosc a chur ar ESD ar chomhpháirteanna nó ar chomhpháirteanna íogaire statacha, PCBanna, bealach amháin is ea bunús oiriúnach a sholáthar do chomhpháirteanna agus do chomhpháirteanna. Nó brainse go" diomailt" an muirear statach atá i láthair ar an táirge; is é an chéad mhodh modhanna agus ábhair phacáistithe iomchuí a úsáid chun pacáistiú agus iompar feistí íogaire leictreastatacha a láimhseáil. Féadann na hábhair seo cur isteach ar mhuirir leictreacha isteach sa táirge go héifeachtach agus an muirear statach a ghineann gluaiseacht an táirge sa bhosca pacáistithe a laghdú.
Go hidirnáisiúnta, d’fhorbair leathsheoltóirí, taispeántais criostail leachtacha painéal comhréidh, agus optoelectronics go gasta, agus tá an leibhéal comhtháthaithe ag éirí níos airde agus níos airde. 8" 12" tá sceallóga le feiceáil, agus tá trastomhais na sreinge sliseanna ag éirí níos tanaí agus níos tanaí, agus tá na riachtanais maidir le frithstatach ag éirí níos airde agus níos airde. Féach Tábla 4.
Tá tús curtha ag Cumann Meiriceánach ESD le hathbhreithniú a dhéanamh ar chruach rialaithe urscaoilte leictreastatach ANS ESD S 20.20-1999, agus rinne sé roinnt athruithe ar aicmiú so-ghabhálachta leictreastatach SSD, féach Táblaí 5, 6, agus 7.
Tugann sé seo rabhadh d’úsáideoirí comhpháirteanna, is cuma cathain a bhíonn pearsanra nó trealamh ag déanamh trealaimh, inis duit na riachtanais rialaithe comhshaoil is féidir a bheith ag teastáil. Má shroicheann an voltas incheadaithe i limistéar an EPA 25V, tá eagla orm go mbeidh ar ár dtrealamh, trealamh, uirlisí agus innealtóireacht frithstatach atá ann cheana dul trí obair chrua.